新品來襲！Phenom XL G3 掃描電鏡配備 3000h 燈絲，平均 5 年更換一次，真正省心省錢。AI 智能、自動拼圖、集成能譜，輕松實現(xiàn)工業(yè) 4.0 級檢測。無論是科研實驗室還是生產(chǎn)車間，都能快速穩(wěn)定運行。

「特點速覽」

• 穩(wěn)定可靠: 80年頂尖技術(shù)傳承。

• 采用 CeB6晶體燈絲: 3000 h 超長使用壽命，平均 5 年換燈絲。

• 面向工業(yè) 4.0 的自動化與 AI 智能掃描電鏡：開放編程接口，打造定制化的“黑燈實驗室"檢測流程，支持 Maps 地圖式多模態(tài)、多維度自動拼圖及關(guān)聯(lián)。

• 不挑安裝環(huán)境：內(nèi)置減震系統(tǒng)，可直接放置于生產(chǎn)車間、高樓層 QC 實驗室等。

• 原廠集成能譜 EDS：從電子光學設(shè)置、圖像采集到能譜分析和面分布，都在同一個統(tǒng)一、直觀的界面中完成。

• 低電壓成像功能：對于不導(dǎo)電、導(dǎo)電性差、以及電子束敏感樣品，不噴金，仍具有成像能力。

01.80 年頂尖技術(shù)傳承

（1）飛利浦時期（1939-1996）

• 起源：1939 年，Le Poole 提出電子顯微鏡構(gòu)想，1944 年成功開發(fā) 150kV 電子顯微鏡，奠定技術(shù)基礎(chǔ)。

• 發(fā)展：1949 年推出第一臺商業(yè)化電鏡 EM100。后續(xù)不斷推出創(chuàng)新產(chǎn)品，如 1972 年進入 SEM 市場，推出 PSEM500。

（2）FEI 時期 (1996-2016)

• 合并：1997 年，飛利浦電子光學業(yè)務(wù)與 FEI 合并，獲得 ESEM 技術(shù)，技術(shù)實力增強。

• 創(chuàng)新：2006 年推出桌面型掃描電鏡--飛納（Phenom World），使用 1500h 長壽命 CeB6 燈絲。

 （3）賽默飛時期（2016-至今）

• 收購：2016 年，F(xiàn)EI 被賽默飛收購。2018 年 Phenom World 被賽默飛收購，正式更名為 Thermo Scientific 品牌。

• 傳承與發(fā)展：技術(shù)上繼承 FEI 創(chuàng)新成果，繼續(xù)提升性能，目前除了 CeB 燈絲系列，還有臺式場發(fā)射電鏡系列，公安法醫(yī)等特定領(lǐng)域?qū)Ｓ秒婄R，產(chǎn)品線豐富，型號達數(shù)十種。

飛納電鏡從飛利浦到賽默飛，歷經(jīng)近 80 年技術(shù)沉淀，從最初的構(gòu)想與商業(yè)化，到不斷的技術(shù)創(chuàng)新與突破，始終在電子顯微鏡領(lǐng)域保持領(lǐng)（ling）先地位。

02.3000h CeB6 晶體燈絲--平均 5 年更換燈絲

擁有超長壽命核心部件，采用 3000 小時高亮度六硼化鈰（CeB?）燈絲，平均 5 年更換燈絲，確保設(shè)備 7×24 小時連續(xù)運行，減少維護頻率和持有成本，讓產(chǎn)線或?qū)嶒炇议L期穩(wěn)定運行無憂。

03. AI 智能掃描電鏡--面向工業(yè) 4.0 的自動化

從裝樣到出圖，僅需 1 分鐘，高測試效率，操作員無需漫長等待，檢測通量比傳統(tǒng)電鏡提升 5-10 倍，極大加速了 QC 判斷和研發(fā)迭代。

        （1） “深度集成，隨需而變"

開放的自動化接口，提供 Python 腳本控制 (PPI)，可以無縫集成到客戶現(xiàn)有的自動化產(chǎn)線和 LIMS 系統(tǒng)中。精準的自動化馬達臺，結(jié)合軟件腳本，一次可容納 36 個樣品，打造“無人值守的質(zhì)檢工廠"，自定義設(shè)定程序，在夜間或休息時間對大批量樣品進行自動拍照和分析，大化設(shè)備利用率。

（2）“一張圖看全貌，多點分析無遺漏"

在晶圓、濾膜、金屬斷口等大樣品上，自動獲取全景高清圖，并對預(yù)設(shè)的關(guān)鍵點位進行高倍率分析，確保檢測無（wu）死角。

（3）從“看"到“算"

專業(yè)的自動化分析軟件，ParticleMetric (顆粒統(tǒng)計)、FiberMetric (纖維統(tǒng)計) 等專用軟件。自動化完成需要人工數(shù)小時才能完成的顆粒度、形貌、尺寸分布等統(tǒng)計工作，輸出標準化報告，實現(xiàn)真正的量化品控。

04 不挑安裝環(huán)境

內(nèi)置減震系統(tǒng)，環(huán)境適應(yīng)性

內(nèi)置減震系統(tǒng)，對安裝環(huán)境要求低，無需防震臺，可直接放置于生產(chǎn)車間、樓層 QC 實驗室等，甚至可以車載，野外場景使用。節(jié)省實驗室改造費用，真正做到“買得起，更能用得好"。

飛納電鏡曾經(jīng)參與冰島火山口、西班牙無人島等科學研究項目，是適用于惡劣環(huán)境的便攜掃描電鏡。科研人員采集樣本回到帳篷中，利用飛納電鏡來確定樣本的化學構(gòu)成，極大地提高了樣本采集和分析的效率。

05.原廠集成能譜 EDS

集成能譜探測器，所有操作：從電子光學設(shè)置、圖像采集到能譜分析和面分布，都在同一個統(tǒng)一、直觀的界面中完成。

        （1） ChemiSEM 彩色成像技術(shù)

形貌圖像和元素數(shù)據(jù)實時同步，無縫調(diào)用。用戶可以在觀察形貌的同時，即時進行點、線、面分析，無需任何數(shù)據(jù)導(dǎo)入導(dǎo)出的步驟。

（2）Phase Mapping 相分析軟件

專有的在線相分析軟件模塊 (Phase Mapping)，利用強大的算法，根據(jù)每個像素點的元素定量結(jié)果，自動識別、分類并標定出不同的“相"或“化合物"。

06.低電壓成像功能

PhenomXL G3 配備了全新升級真空設(shè)計和背散射探測器 (BSD)，優(yōu)化了低電壓下的靈敏度，提升了總體的信噪比 (S/N)，對于不導(dǎo)電、導(dǎo)電性差、以及電子束敏感樣品，可以使用更低的束流進行拍攝，提升分辨率的同時，降低荷電效應(yīng)帶來的影響。

由于整體信噪比的提升，我們可以使用更短的采集時間采集同樣質(zhì)量的照片，在自動化工作流程中，高通量照片拍攝的總效率平均提升 30%。

電子陶瓷

• 放大倍數(shù)：1,000X

• 5kV，未噴金，背散射電子像

• 觀測到陶瓷內(nèi)晶粒大小和空隙

CMOS 探測器

• 放大倍數(shù)：5,000X

• 2kV，二次電子像

• 可以清晰看到像素單元及表面污染物